[发明专利]产生气体分析装置以及产生气体分析方法有效
| 申请号： | 201611016231.7 | 申请日： | 2016-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN107037071B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 秋山秀之;渡边将史;丸冈干太郎 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01N25/00 | 分类号： | G01N25/00;G01N1/44;G01F1/76 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;傅永霄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供在不使装置大型化的情况下提高气体成分的检测精度的产生气体分析装置。产生气体分析装置（200）具备：加热部（10），加热试料（S）而产生气体成分（G）；检测机构（110），检测在加热部生成的气体成分；气体流路（41），连接加热部与检测机构之间，供气体成分与将该气体成分向检测机构引导的运载气体（C）的混合气体（M）流通；该产生气体分析装置的特征在于，气体流路具有向外部开放的分支路（42），分支路具有调整混合气体向外部的排出流量的排出流量调整机构（42a），还具备流量控制部（216），该流量控制部基于来自检测机构的检测信号控制排出流量调整机构，使得该检测信号在既定的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 气体 分析 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种产生气体分析装置，具备：加热部，加热试料而产生气体成分；检测机构，检测在该加热部生成的前述气体成分；气体流路，连接前述加热部与前述检测机构之间，供前述气体成分与运载气体的混合气体流通，前述运载气体将该气体成分向前述检测机构引导；该产生气体分析装置的特征在于，前述气体流路具有向外部开放的分支路，前述分支路具有调整前述混合气体向外部的排出流量的排出流量调整机构，还具备流量控制部，该流量控制部基于来自前述检测机构的检测信号，控制前述排出流量调整机构，使得该检测信号在既定的范围内。
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