[发明专利]一种精密气浮转台

摘要

本发明公开了一种精密气浮转台，包括底座、设于底座上的气浮轴承组件及设于底座内的动力组件，气浮轴承组件包括固定设于底座上的节流环和与动力组件相联接的上止推环、下止推环，上止推环与下止推环之间设有调整环，上止推环、调整环及下止推环通过螺栓连接件联接在一起，通过调节调整环的尺寸大小以改变上止推环与下止推环之间距离，进而调节上、下两处气膜间隙的厚度，从而改变系统刚性大小，提高气浮转台转动的精度。本发明的转台采用气浮轴承组件和动力组件上下布局的结构，降低整体的径向尺寸，缩小回转半径，具有易于加工生产、装配和调整，且回转精度高、耗气量小、承载能力强、刚性高等特点。

主权项

一种精密气浮转台，其特征在于：包括底座、设于底座上的气浮轴承组件及设于底座内的动力组件，所述气浮轴承组件包括固定设于底座上的节流环和与动力组件相联接的上止推环、下止推环，所述节流环顶部和底部分别形成上气浮面和下气浮面，所述上止推环底部形成与上气浮面配合并构成气膜间隙的上止推面，所述下止推环顶部形成与下气浮面配合并构成气膜间隙的下止推面，所述上止推环与下止推环之间设有用于调节上止推环与下止推环之间的距离以调节气膜间隙的调整环，所述上止推环、调整环及下止推环通过螺栓连接件联接在一起。