[发明专利]一种基于状态管理的工艺控制系统调度装置及方法有效
申请号: | 201611019521.7 | 申请日: | 2016-11-14 |
公开(公告)号: | CN106444934B | 公开(公告)日: | 2019-02-19 |
发明(设计)人: | 徐冬 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | G05D27/02 | 分类号: | G05D27/02;H01L21/67 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 陶金龙;张磊 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种基于状态管理的工艺控制系统调度装置和方法;该方法包括热处理设备工艺控制系统启动时,集群工具控制单元CTC用于接收外部控制指令及设备调度管理,传送工艺流程中的系统文件和工艺文件到工艺模块控制器;交互模式控制单元TMC进行传送部分控制及状态管理;集群工具控制单元CTC基于外部控制指令和过程控制单元PMC状态对过程控制单元PMC的工作模式进行调度管理。因此,本发明通过过程控制单元PMC的精确和稳定的运行,提高了对热处理设备工艺运行和设备的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 状态 管理 工艺 控制系统 调度 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于状态管理的工艺控制系统调度装置;所述的工艺控制系统为热处理设备工艺控制系统,用于对工艺模块进行控制;其特征在于,包括:集群工具控制单元,用于接收外部控制指令及设备调度管理;交互模式控制单元,与所述集群工具控制单元相连,用于传送部分控制及状态管理;以及过程控制单元,用于工艺控制部分控制及状态管理;所述过程控制单元由与所述集群工具控制单元交互的数据区、运行调度区和状态监测区组成;其中,所述数据区用于系统配置数据、工艺文件信息的接收、发送和存储,其包括配置文件、工艺文件、工艺文件读取模块和系统文件读取模块;所述运行调度区包括工艺步信息和温度控制信息提取模块,用于按时间或者工艺条件要求调度并运行工艺文件信息;所述状态监测区包括状态监测模块和功能控制模块,其用于监测工艺参数的实时变量是否符合文艺文件设定范围、安全互锁管理、报警信息的触发和管理;其中,所述集群工具控制单元基于外部控制指令和过程控制单元状态对所述过程控制单元的工作模式进行调度管理。
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