[发明专利]一种单个微纳米结构转移装置及其转移方法

摘要

本发明公开了一种单个微纳米结构转移装置及其转移方法。本发明巧妙地设计了具有周期性凸起平台和坐标标记的微纳结构中转基片，通过显微镜实时观察以及原位操纵微纳操纵器，实现单个微纳米结构的精确定点转移；一方面，在微纳结构中转基片上能够完成对微纳米结构的初步表征分析；另一方面，在显微镜的原位观察下，通过坐标标记原位查找待转移的单个微纳米结构，并能够通过微纳操纵器的转移探针将其从微纳结构中转基片上提取出来，再精确转移至目标衬底基片上的指定位置，转移定位精度能够优于1微米；此外，本发明的转移方法采用了静电吸附的原理，在保证转移探针的尖头探针清洁的情况下，不会在微纳米结构转移过程中引入不明杂质。

主权项

一种单个微纳米结构转移装置，其特征在于，所述转移装置包括：显微镜、微纳操纵器固定架、微纳操纵器、转移探针和微纳结构中转基片；其中，所述微纳操纵器固定架刚性固定安装在显微镜上；所述微纳操纵器刚性连接在微纳操纵器固定架上；所述转移探针安装在微纳操纵器的顶端；所述微纳结构中转基片位置固定的放置在显微镜的样品台上，在微纳结构中转基片上悬空承载待转移的微纳米结构；所述微纳结构中转基片包括基片、周期性的凸起平台和坐标标记，在表面平整的基片上通过微纳加工形成周期性的凸起平台和坐标标记，所述坐标标记为在基片的表面按照固定间距周期性排列的有规律标号，以标记周期性的凸起平台的准确位置，凸起平台之间形成凹槽，所述凹槽的宽度大于转移探针的尖端的宽度；对于具有一个维度大于凸起平台的微纳米结构，一部分位于凸起平台上，另一部分悬空于凸起平台之间的凹槽上。