[发明专利]外接投料装置在审
申请号: | 201611020224.4 | 申请日: | 2016-11-17 |
公开(公告)号: | CN106400105A | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 蒋新民;庄卫华;周益华;徐罗清 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及直拉硅单晶炉设备技术领域,尤其是涉及一种外接投料装置,包括机架及设置在机架上的投料桶,还包括固定在机架下端的用于连接单晶炉的旋板阀,投料桶固定连接在机架上端,机架上位于旋板阀和投料桶之间滑动设置有基座,基座上设有连接板,连接板与旋板阀之间设有可收缩的第一波纹管,投料桶与连接板之间设有第二波纹管,第一波纹管和第二波纹管之间相互连通,第一波纹管内套设有石英管,石英管的一端固定连接在连接板上;机架上位于旋板阀和投料筒之间固定连接有导轨,本发明结构简单,操作方便,能够快速控制石英管的伸出或者收缩,反复对单晶炉进行投料,提高了投料的效率。 | ||
搜索关键词: | 外接 投料 装置 | ||
【主权项】:
一种外接投料装置,包括机架(1)及设置在机架(1)上的投料桶(2),其特征在于:还包括固定在机架(1)下端的用于连接单晶炉(3)的旋板阀(4),所述投料桶(2)固定连接在所述机架(1)上端,所述机架(1)上位于所述旋板阀(4)和所述投料桶(2)之间滑动设置有基座(5),所述基座(5)上设有连接板(6),所述连接板(6)与所述旋板阀(4)之间设有可收缩的第一波纹管(7),所述投料桶(2)与所述连接板(6)之间设有与投料桶(2)连通的第二波纹管(8),所述第一波纹管(7)和第二波纹管(8)之间相互连通,所述投料桶(2)具有上端进料口及下端出料口,所述投料桶(2)上端进料口上设有密封盖(9),所述投料桶(2)下端进料口和第二波纹管(8)之间相互连通,所述第一波纹管(7)内套设有石英管(10),所述石英管(10)的一端固定连接在所述连接板(6)上;所述机架(1)上位于所述旋板阀(4)和投料桶(2)之间固定连接有导轨(11),所述机架(1)上位于所述旋板阀(4)和投料桶(2)之间转动设置有丝杆(12),所述基座(5)滑动设置在所述导轨(11)上,所述基座(5)与所述丝杆(12)螺纹连接,所述丝杆(12)的一端设有用于驱动丝杆(12)转动的电机(15),所述电机(15)固定连接在所述机架(1)上。
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