[发明专利]利用飞秒激光成丝制备毫米级深孔的方法有效
| 申请号： | 201611021371.3 | 申请日： | 2016-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN106425128B | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 宋海英;张艳杰;刘世炳;刘海云 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | B23K26/384 | 分类号： | B23K26/384;B23K26/064 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 夏静洁 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及激光成孔技术领域，具体涉及利用飞秒激光成丝制备毫米级深孔的方法，包括：利用透镜将飞秒激光进行聚焦成丝，飞秒激光在空气中形成相对稳定的光丝通道；调节飞秒激光的平均功率改变光丝通道长度；在相同条件下分别将靶材放在光丝通道的不同位置处，找出光丝通道中烧蚀强度最强点，再将靶材固定在烧蚀最强点处进行加工，从而获得毫米级的深微孔；利用扫描电子显微镜观察深微孔的孔径大小及表面形貌；再通过改变飞秒激光的平均功率和加工时间来获得不同参数的深微孔。由于飞秒激光可以在空气中形成具有很高的强度、均匀性好、传播距离较长且相对稳定的光丝通道，对实验平台的要求也相对较低，大大降低了深微孔制备的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 激光 制备 毫米 级深孔 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用飞秒激光成丝制备毫米级深孔的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：利用透镜将飞秒激光进行聚焦成丝，所述飞秒激光在空气中形成相对稳定的光丝通道，所述透镜前方设置有孔径光阑，所述透镜的焦距为500mm‑1000mm，所述透镜前方还放置有光束整形装置；调节所述飞秒激光的平均功率从而改变所述光丝通道长度；在相同条件下分别将靶材放在所述光丝通道的不同位置处，找出所述光丝通道中烧蚀强度最强点，再将所述靶材固定在所述烧蚀强度最强点处进行加工，从而获得毫米级的深微孔；利用扫描电子显微镜观察所述深微孔的孔径大小及表面形貌；再通过改变所述飞秒激光的平均功率和加工时间来获得不同参数的所述深微孔。
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