[发明专利]一种石墨舟上下料装置及其上下料方法有效
申请号: | 201611022032.7 | 申请日: | 2016-11-21 |
公开(公告)号: | CN106756893B | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 符慧能 | 申请(专利权)人: | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/50 | 分类号: | C23C16/50 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 周长清;徐好 |
地址: | 410205 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 一种石墨舟上下料装置及其上下料方法,装置包括机械手、托盘、伸缩杆及支架,机械手与支架连接,托盘上沿着远离石墨舟的方向依次设有承托区、第一铰接部和第二铰接部,第一铰接部与支架下部铰接,第二铰接部与伸缩杆下端铰接,伸缩杆上端与支架上部铰接。方法包括步骤S1、机械手带动托盘运动至承托区位于石墨舟的承托间隙正上方;S2、伸缩杆收缩,托盘绕第一铰接部向下转动,承托区运动至石墨舟侧面;S3、机械手带动托盘垂直向下运动至承托区位于承托间隙侧下方;S4、伸缩杆伸长,托盘绕第一铰接部向上转动,承托区进入至承托间隙内;S5、机械手带动托盘垂直向上运动将石墨舟拾起离开取舟位置。本发明能在水平运动空间不足时顺利抓取石墨舟。 | ||
搜索关键词: | 承托 石墨舟 铰接部 机械手 伸缩杆 托盘 铰接 上下料装置 上下料 盘绕 抓取 垂直向上运动 垂直向下运动 空间不足 水平运动 托盘运动 向上转动 向下转动 支架连接 支架上部 支架下部 上端 伸长 下端 支架 收缩 侧面 | ||
【主权项】:
1.一种石墨舟上下料装置,包括机械手、托盘(1)及支架(3),所述机械手与所述支架(3)连接,其特征在于:石墨舟上下料装置还包括伸缩杆(4),所述托盘(1)上沿着远离石墨舟(2)的方向依次设有承托区(11)、第一铰接部(12)和第二铰接部(13),所述第一铰接部(12)与所述支架(3)下部铰接,所述第二铰接部(13)与所述伸缩杆(4)下端铰接,所述伸缩杆(4)上端与所述支架(3)上部铰接。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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