[发明专利]基于拍频结构的分布反馈式聚合物激光器的制作方法有效
| 申请号： | 201611022568.9 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN106451063B | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 翟天瑞;吴晓锋;张新平 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | H01S5/04 | 分类号： | H01S5/04;H01S5/12 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张立改 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 基于拍频结构的分布反馈式聚合物激光器的制作方法，属于有机半导体微腔激光器领域。在玻璃基底上旋涂一层光刻胶薄膜，利用双光束干涉法在薄膜上曝光n次，n次干涉图案的周期分别为A1、A2……An，n个光栅平行叠加到一起，n大于等于2；将曝光后的样品显影，显影后拍频结构显现出来；在带有拍频结构的样品上以800‑4000转/秒旋涂一层有机半导体薄膜，有机半导体溶解在有机溶剂中，浓度10‑30mg/ml；激光器制备完成。本发明方法无需使用刻蚀设备，成本低廉，可大面积、快速制备拍频结构，重复性好，制备效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 拍频 结构 分布 反馈 聚合物 激光器 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于拍频结构的有机半导体DFB激光器件制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)在玻璃基底上以800‑4000转/秒的转速旋涂一层光刻胶薄膜，利用双光束干涉法在薄膜上曝光n次，n次干涉图案的周期分别为A1、A2……An，n个光栅平行叠加到一起，n大于等于2；(2)将曝光后的样品显影，显影后拍频结构显现出来；(3)在步骤(2)带有拍频结构的样品上以800‑4000转/秒旋涂一层有机半导体薄膜，有机半导体溶解在有机溶剂中，有机半导体在有机溶剂中的浓度10‑30mg/ml；激光器制备完成。
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