[发明专利]一种光电子器件的精确控温耦合平台装置

摘要

本发明提供了一种光电子器件的精确控温耦合平台装置，该精确控温耦合平台装置包括器件耦合载台、透镜光纤夹持系统，以及外围配置的帕尔帖制冷器控制系统、器件驱动源系统、外部冷却系统和功率监控系统，本发明提供的光电子器件的精确控温耦合平台装置拥有可精确控温的器件载台，通过珀尔帖制冷器控制系统实现器件载台的温度控制，可按工程人员要求设定需控制的温度值，有效的解决了采用传统的简单热层作为光电子器件耦合载台无法解决的有源耦合过程中的器件发热问题。

主权项

一种光电子器件的精确控温耦合平台装置，其特征在于：该精确控温耦合平台装置包括器件耦合载台、透镜光纤夹持系统，以及外围配置的帕尔帖制冷器控制系统、器件驱动源系统、外部冷却系统和功率监控系统，其中，所述器件耦合载台为待耦合器件提供装载；所述透镜光纤夹持系统为需耦合的透镜光纤提供夹持；所述帕尔帖制冷器控制系统通过所述器件耦合载台的温度反馈来实现对帕尔帖制冷器的驱动控制；所述器件驱动源系统用于满足所述待耦合器件的有源耦合驱动需求；所述外部冷却系统通过冷却液的循环保证所述器件耦合载台降温；所述功率监控系统实现有源耦合过程中器件输出功率的实时监控。