[发明专利]一种蓝宝石抛光组合物及其制备方法有效
申请号: | 201611024181.7 | 申请日: | 2016-11-18 |
公开(公告)号: | CN106700942B | 公开(公告)日: | 2018-07-10 |
发明(设计)人: | 汪海波;鲁世斌;万丽娟;张忠祥;杨金;王菲菲 | 申请(专利权)人: | 合肥师范学院 |
主分类号: | H01L21/302 | 分类号: | H01L21/302;C09G1/02 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 230601 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种蓝宝石抛光组合物及其制备方法。所述抛光组合物包含如下质量份数的组分:1~50%硅溶胶、0.15%~6%的速率促进剂、0.1%~5%的糖类物质和pH值调节剂,其余部分为去离子水,pH值范围为8~12。其制备方法是将各种组分稀释混合。该组合物具有抛光速率快、表面质量好、易于清洗和易于制备等特点。此外,本发明所涉及的组分均为常见化合物,成本低,且不含有表面活性剂等难以去除的有机物,易于清洗,也不含无机金属杂质,无污染环境的风险。 | ||
搜索关键词: | 制备 抛光组合物 蓝宝石 清洗 表面活性剂 速率促进剂 无污染环境 去离子水 糖类物质 无机金属 稀释混合 硅溶胶 有机物 质量份 抛光 去除 | ||
【主权项】:
1.一种蓝宝石抛光组合物,其特征在于,包含如下质量浓度份数的组分:0.1~5%的糖类物质、1~50%硅溶胶、0.15~6%的速率促进剂和0.01~0.5%的pH值调节剂,其余部分为去离子水;所述的速率促进剂为氯化物和氧化剂的混合物,所述氯化物与氧化剂的质量比1:0.5~2;所述的氯化物选自氯化锂、氯化钠、氯化钾、氯化铵或四甲基氯化铵中的一种或多种,所述的氯化物的质量浓度为0.1~2%;所述的氧化剂选自双氧水、过硫酸铵、过硫酸钠、过硫酸钾、次氯酸钠或次氯酸钾中的一种或多种;所述糖类物质选自单糖、双糖或多糖中的一种或多种。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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