[发明专利]一种DMD结构单轴固定光路直写曝光机有效
| 申请号： | 201611025003.6 | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN106444298B | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 李显杰 | 申请（专利权）人： | 江苏影速光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司23211 | 代理人： | 耿晓岳 |
| 地址： | 江苏省邳*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种DMD结构单轴固定光路直写曝光机，属于直写曝光技术领域。本发明的DMD结构单轴固定光路直写曝光机，主要对真空吸盘结构进行了改进，有效解决了生产小板时由于漏气而造成的吸力不足的问题。进一步地，吸盘上的气孔分布为中间疏、四周密，有效杜绝了板子边缘翘起的问题，节省了气孔数量，减少了成本。本发明的DMD结构单轴固定光路直写曝光机，可生产55英寸的超大板。同时，分区对位聚焦方法改进可以确保图像曝光位置准确，图像曝光清楚。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 dmd 结构 固定 光路直写 曝光 | ||
【主权项】：
一种DMD结构单轴固定光路直写曝光机，其特征在于，所述DMD结构单轴固定光路直写曝光机包括支撑结构、DMD结构、一个运动组件、真空吸盘；运动组件包括一个扫描Y轴和一个升降Z轴；真空吸盘位于运动组件上方；所述真空吸盘包括吸盘主体和真空发生装置；吸盘主体上以行和列的形式分布一定数量的气孔，每一行气孔各对应一个继电器，每一列气孔也各对应一个继电器；每个气孔与真空发生装置之间连接有气孔开关；气孔开关同时与该气孔所在行的继电器和该气孔所在列的继电器连接；所述气孔在吸盘主体上呈中间疏、四周密的分布形式。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏影速光电技术有限公司，未经江苏影速光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611025003.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
