[发明专利]应力隔离检测器元件和并有应力隔离检测器元件的微测辐射热计检测器有效
| 申请号： | 201611025360.2 | 申请日： | 2016-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN107402095B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 查德·道森 | 申请（专利权）人： | 恩智浦美国有限公司 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00;H01L31/09 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 范心田 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于微测辐射热计检测器的检测器元件，其包括与衬底间隔开的平台结构。所述平台结构具有围绕中心区的周边区。第一接触和第二接触位于所述周边区处接近所述周边区的相对的第一边缘和第三边缘。坚硬的横杆结构横跨所述中心区在所述第一接触和第二接触之间延伸，并且至少一个传感器位于所述周边区处接近所述周边区的第二边缘和第四边缘中的至少一个。具有第一材料部分和第二材料部分的网格图案的光学吸收材料结构可位于所述中心区处。垂直于所述横杆结构的第一材料部分可连接到所述横杆结构和所述周边区的内边缘，并且所述第二材料部分不在所述周边区的相对的内边缘之间连续延伸，也不耦合到所述相对的内边缘。 | ||
| 搜索关键词： | 应力 隔离 检测器 元件 辐射热 | ||
【主权项】：
暂无信息
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