[发明专利]一种纳米探针及纳米探针测试仪在审
| 申请号： | 201611026075.2 | 申请日： | 2016-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN106597035A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 张佐兵;张顺勇;谢振;靳磊 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司11212 | 代理人： | 陈卫 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种纳米探针及纳米探针测试仪，包括针臂，所述针臂的一端用于连接测试仪，另一端设置有用于同时与待失效分析半导体器件同一极性两个以上钨栓接触的触头。在待失效分析半导体器件电学特性测试中，此纳米探针可同时接触待失效分析半导体器件同一极性多个钨栓，用多个钨栓共同对应的电学特性表征待失效分析半导体器件的实际电学特性，能够有效避免个别纳米探针触头与钨栓接触不良，或个别钨栓下没有硅化物等因素导致的测试误差，从而更精准的反映待失效分析半导体器件的实际电学特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 探针 测试仪 | ||
【主权项】：
一种纳米探针，其特征在于，包括针臂(3)，所述针臂(3)的一端用于连接测试仪，另一端设置有用于同时与待失效分析半导体器件(2)同一极性两个以上钨栓(21)接触的触头。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉新芯集成电路制造有限公司，未经武汉新芯集成电路制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611026075.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于高温高压釜电极引线装置
- 下一篇：一种锡点扎针方法
