[发明专利]一种多步骤干法刻蚀机台颗粒监测的方法

摘要

本发明公开了一种多步骤干法刻蚀机台颗粒监测的方法，通过在单步骤的颗粒监测方法的基础上增加缩短时间的全步骤的颗粒监测方法，不仅有效的监测了多步骤干法刻蚀机台产生的所有颗粒，并且增加了颗粒有无特殊分布的检查和对大颗粒的规格控制，增强了颗粒监测的灵敏度，减少了产品事故的概率。

主权项

1.一种多步骤干法刻蚀机台颗粒监测的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：提供检测片A，使用单步骤的颗粒监测方法，使用主刻蚀步骤，监测主刻蚀步骤的增加颗粒总数和增加大颗粒数；其中，采用与实际刻蚀步骤相同的反应条件对检测片A进行刻蚀；步骤2：提供检测片B，使用缩短时间的全步骤的颗粒监测方法，缩短每个步骤的反应时间，监测多步骤干法刻蚀工艺的增加总颗粒的分布和增加大颗粒数；其中，设定反应条件，缩短各个步骤的反应时间，其余反应条件不变，然后进行一体化刻蚀；步骤3：分析步骤1和步骤2的数据，判断检测结果，当步骤1和步骤2监测到的数据皆满足规格要求时，则产品合格，当任意一项数据不满足规格要求时，则产品不合格。