[发明专利]一种单晶硅电池生产工艺用硅片减薄设备有效
申请号: | 201611027979.7 | 申请日: | 2016-11-18 |
公开(公告)号: | CN106783670B | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 梁叶青 | 申请(专利权)人: | 安徽省凤阳县前力玻璃制品有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 北京恒泰铭睿知识产权代理有限公司 11642 | 代理人: | 周成金 |
地址: | 233100*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明属于单晶硅电池生产技术领域,尤其涉及一种单晶硅电池生产工艺用硅片减薄设备。本发明要解决的技术问题是提供一种减薄速度快、操作简单、减薄厚薄均匀的单晶硅电池生产工艺用硅片减薄设备。为了解决上述技术问题,本发明提供了这样一种单晶硅电池生产工艺用硅片减薄设备,包括有第一转轴、蜗轮、平皮带、第二转轴、第一轴承座、大皮带轮、齿轮、第一安装座、齿条、滑块、滑轨、右架等;底板顶部右端焊接有右架,右架左侧上部通过螺栓连接的方式连接有滑轨。本发明达到了减薄速度快、操作简单、减薄厚薄均匀的效果,且本设备发挥的重要作用不仅有良好的减薄效果,还提高了工作效率,安全性高。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 电池 生产工艺 硅片 设备 | ||
【主权项】:
1.一种单晶硅电池生产工艺用硅片减薄设备,其特征在于,包括有第一转轴(1)、蜗轮(2)、平皮带(3)、第二转轴(4)、第一轴承座(5)、大皮带轮(6)、齿轮(7)、第一安装座(8)、齿条(9)、滑块(10)、滑轨(11)、右架(12)、网板(13)、叶片(14)、第二轴承座(15)、密封圈(16)、处理框(17)、电控阀(18)、出液管(19)、第二安装座(20)、第三轴承座(21)、小皮带轮(22)、蜗杆(23)、L型连杆(24)和旋转电机(25),底板(26)顶部右端焊接有右架(12),右架(12)左侧上部通过螺栓连接的方式连接有滑轨(11),右架(12)左侧下部焊接有齿条(9),齿条(9)位于滑轨(11)前侧,滑轨(11)上滑动式连接滑块(10),滑块(10)与滑轨(11)配合,滑块(10)左侧通过螺栓连接的方式连接有处理框(17),处理框(17)左壁下部焊接有出液管(19),出液管(19)上设有电控阀(18),处理框(17)内中部通过螺栓连接的方式连接有网板(13),处理框(17)底部中间通过螺栓连接的方式连接有第二轴承座(15),蜗杆(23)与第二轴承座(15)内的轴承过盈连接,处理框(17)内底部中间胶接有密封圈(16),密封圈(16)与第二轴承座(15)紧密接触,蜗杆(23)顶端穿过密封圈(16),蜗杆(23)上端对称焊接有叶片(14),叶片(14)位于网板(13)正下方,处理框(17)底部左侧焊接有L型连杆(24),L型连杆(24)右端通过螺栓连接的方式固定连接有旋转电机(25),旋转电机(25)上的输出轴通过联轴器连接的方式与蜗杆(23)底端连接,处理框(17)底部右侧焊接有第二安装座(20)和第一安装座(8),第一安装座(8)位于第二安装座(20)右侧,第一安装座(8)上通过螺栓连接的方式连接有第一轴承座(5),第二转轴(4)与第一轴承座(5)内的轴承过盈连接,第二转轴(4)上通过平键连接的方式连接有齿轮(7)和大皮带轮(6),齿轮(7)可转动,齿轮(7)与齿条(9)啮合,齿轮(7)位于大皮带轮(6)后侧,第二安装座(20)上通过螺栓连接的方式连接有第三轴承座(21),第一转轴(1)与第三轴承座(21)内的轴承过盈连接,第一转轴(1)上通过平键连接的方式连接有蜗轮(2)和小皮带轮(22),蜗轮(2)可转动,蜗轮(2)位于小皮带轮(22)后侧,小皮带轮(22)与大皮带轮(6)之间连接有平皮带(3),蜗轮(2)与蜗杆(23)配合。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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