[发明专利]远端电浆增强化学气相沉积装置有效

专利信息
申请号: 201611029688.1 申请日: 2016-11-14
公开(公告)号: CN106367736B 公开(公告)日: 2018-11-30
发明(设计)人: 张宇顺 申请(专利权)人: 张宇顺
主分类号: C23C16/517 分类号: C23C16/517
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 张海英;林波
地址: 523399 广东省东莞市塘厦*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开一种远端电浆增强化学气相沉积装置,涉及薄膜制备技术领域。该装置包括相互连通的反应室和远端电浆产生室,远端电浆产生室上设有制程气体入口,反应室上设有副产品抽出口;反应室内设有平台,平台的平台面上放置有基片,远端电浆产生室中同时且互相隔离地设置有直流放电单元、射频放电单元和微波放电单元,直流放电单元、射频放电单元和微波放电单元同步产生放电,用以使远端电浆产生室内的制程气体形成电浆,并通入反应室中。本发明通过远端电浆产生室产生符合要求的电浆源,能够有效控制电浆密度,避免形成的电浆密度较低或空间分布不均等缺陷,提升了该远端电浆增强化学气相沉积装置的使用效率及其制程效率。
搜索关键词: 远端 增强 化学 沉积 装置
【主权项】:
1.一种远端电浆增强化学气相沉积装置,包括相互连通的反应室(10)和远端电浆产生室(70),所述远端电浆产生室(70)上设有制程气体入口(11),所述反应室(10)上设有副产品抽出口(12);所述反应室(10)内设有平台(13),所述平台(13)的平台面(14)上放置有基片(20),其特征在于,所述远端电浆产生室(70)中同时且互相隔离地设置有直流放电单元(71)、射频放电单元(72)和微波放电单元(73),所述直流放电单元(71)、射频放电单元(72)和微波放电单元(73)同步产生放电,用以使远端电浆产生室(70)内的制程气体形成电浆(30),并通入反应室(10)中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于张宇顺,未经张宇顺许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201611029688.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top