[发明专利]远端电浆增强化学气相沉积装置

摘要

本发明公开一种远端电浆增强化学气相沉积装置，涉及薄膜制备技术领域。该装置包括相互连通的反应室和远端电浆产生室，远端电浆产生室上设有制程气体入口，反应室上设有副产品抽出口；反应室内设有平台，平台的平台面上放置有基片，远端电浆产生室中同时且互相隔离地设置有直流放电单元、射频放电单元和微波放电单元，直流放电单元、射频放电单元和微波放电单元同步产生放电，用以使远端电浆产生室内的制程气体形成电浆，并通入反应室中。本发明通过远端电浆产生室产生符合要求的电浆源，能够有效控制电浆密度，避免形成的电浆密度较低或空间分布不均等缺陷，提升了该远端电浆增强化学气相沉积装置的使用效率及其制程效率。

主权项

1.一种远端电浆增强化学气相沉积装置，包括相互连通的反应室(10)和远端电浆产生室(70)，所述远端电浆产生室(70)上设有制程气体入口(11)，所述反应室(10)上设有副产品抽出口(12)；所述反应室(10)内设有平台(13)，所述平台(13)的平台面(14)上放置有基片(20)，其特征在于，所述远端电浆产生室(70)中同时且互相隔离地设置有直流放电单元(71)、射频放电单元(72)和微波放电单元(73)，所述直流放电单元(71)、射频放电单元(72)和微波放电单元(73)同步产生放电，用以使远端电浆产生室(70)内的制程气体形成电浆(30)，并通入反应室(10)中。