[发明专利]一种黑磷薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201611029725.9 | 申请日： | 2016-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN107447193A | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 张晗;汤贤;张家宜 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种黑磷薄膜的制备方法，包括以下步骤提供基底，将所述基底和红磷分别置于反应室的加热区域的不同位置；向所述反应室内通入载气并保持载气流通，然后加热所述反应室至500～1000℃并保持2～20h，使所述红磷转变成红磷蒸汽，所述红磷蒸汽随所述载气到达所述基底表面进行吸附和沉积，形成黑磷薄膜；再冷却至室温，取出，即得到沉积在所述基底上的黑磷薄膜。该方法工艺简单可控、成本低、安全性好、成膜效率高、可规模化、可得到大尺寸、致密无裂纹的黑磷薄膜。本发明还提供了一种由上述方法制备得到的黑磷薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 黑磷 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种黑磷薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供基底，将所述基底和红磷分别置于反应室的加热区域的不同位置；向所述反应室内通入载气并保持载气流通，然后加热所述反应室至500～1000℃并保持2～20h，使所述红磷转变成红磷蒸汽，所述红磷蒸汽随所述载气到达所述基底表面进行吸附和沉积，形成黑磷薄膜；再冷却至室温，取出，即得到沉积在所述基底上的黑磷薄膜。
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