[发明专利]一种Li掺杂ZnO晶体薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201611029842.5 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN106676633A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 王茂华;孙尉杰 | 申请（专利权）人： | 常州大学 |
| 主分类号： | C30B29/16 | 分类号： | C30B29/16;C30B5/02;C30B28/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213164 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及Li掺杂的p型ZnO晶体薄膜的制备方法，属于半导体材料技术领域。将Zn(CH3COO)2·2H2O溶于乙二醇甲醚溶剂中，再加入柠檬酸，水浴搅拌后加入LiCl继续搅拌得到均匀的胶体溶液，将此溶液静置后得到溶胶；采用浸渍提拉法将所得到的溶胶在清洗、烘干后的玻璃片上镀膜，将玻璃片慢慢浸入溶胶，利用溶胶具备一定的粘性使湿溶胶被玻璃载片附着；再通过恒速马达以恒定的提拉速度将玻璃片平稳地从湿凝胶里慢慢提拉出来，利用重力作用使湿凝胶均匀分布在玻璃载片的两面；最后升温到400‑600℃，在空气中对薄膜热处理，得到Li掺杂ZnO薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 li 掺杂 zno 晶体 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种Li掺杂ZnO晶体薄膜的制备方法，其特征在于：将Zn(CH3COO)2·2H2O溶于乙二醇甲醚溶剂中，再加入柠檬酸，水浴搅拌后加入LiCl继续搅拌得到均匀的胶体溶液，将此溶液静置后得到溶胶；采用浸渍提拉法将所得到的溶胶在清洗、烘干后的玻璃片上镀膜，将玻璃片慢慢浸入溶胶，利用溶胶具备一定的粘性使湿溶胶被玻璃载片附着；再通过恒速马达以恒定的提拉速度将玻璃片平稳地从湿凝胶里慢慢提拉出来，利用重力作用使湿凝胶均匀分布在玻璃载片的两面；最后升温到400‑600℃，在空气中对薄膜热处理，得到Li掺杂ZnO薄膜。
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