[发明专利]二维微动装置

摘要

本发明提供的二维微动装置，通过压力施加装置与支撑底座来向所述第一移动台和所述第二移动台施加垂直于第一方向和第二方向的力，与具有第一夹角的所述两个第一压电陶瓷接触面，和具有第二夹角的所述两个第二压电陶瓷接触面配合工作，提高了二维微动装置的准直性。

主权项

1.一种二维微动装置，其特征在于，包括：压力施加装置；第一方向组件，包括第一移动台、第一支撑部以及第一压电陶瓷组，所述第一移动台具有沿着第一方向延伸的两个第一压电陶瓷接触面，所述两个第一压电陶瓷接触面形成一个第一夹角，所述第一压电陶瓷组设置于所述两个第一压电陶瓷接触面与所述第一支撑部之间，通过所述第一压电陶瓷组驱动所述第一移动台沿第一方向往复运动；与所述第一方向组件层叠设置的第二方向组件，包括第二移动台、第二支撑部以及第二压电陶瓷组，所述第二移动台具有沿着第二方向延伸的两个第二压电陶瓷接触面，所述两个第二压电陶瓷接触面形成一个第二夹角，所述第二压电陶瓷组设置于所述两个第二压电陶瓷接触面与所述第二支撑部之间，通过所述第二压电陶瓷组驱动所述第二移动台沿第二方向往复运动，所述第二方向与第一方向垂直；支撑底座，所述支撑底座与所述压力施加装置间隔设置，所述压力施加装置与所述支撑底座通过弹性压力将所述第一移动台与所述第二移动台压合，所述压力施加装置包括弹性部，所述弹性部与所述第一移动台接触；固定装置，所述固定装置将所述压力施加装置与所述支撑底座固定在一起。