[发明专利]一种微硅麦克风及其制造方法在审
| 申请号： | 201611032043.3 | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN106412782A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 孙恺;胡维;李刚 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司11505 | 代理人： | 孟潭 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明的微硅麦克风及制造方法，用于解决微硅麦克风应力影响灵敏度以及制造工艺的技术问题。本发明的微硅麦克风包括振动膜层，所述振动膜层包括振动梁和振动膜，振动梁围绕振动膜的边缘均匀布设，振动梁的一端固定在振动膜的边缘，振动梁的另一端固定在支撑结构上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微硅麦克风，包括振动膜层，其特征在于，所述振动膜层包括振动梁和振动膜，振动梁围绕振动膜的边缘均匀布设，振动梁的一端固定在振动膜的边缘，振动梁的另一端固定在支撑结构上。
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