[发明专利]一种晶体激光预处理与点对点损伤测试装置及测试方法有效

专利信息
申请号: 201611032322.X 申请日: 2016-11-22
公开(公告)号: CN106770311B 公开(公告)日: 2019-05-07
发明(设计)人: 程文雍;王军华;李晓芳;杨厚文;李大振 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 王楠
地址: 250199 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种晶体激光预处理与点对点损伤测试装置及测试方法,属于激光预处理与损伤测试领域。本发明包括亚纳秒激光脉冲对待测样品晶体的激光预处理和纳秒激光脉冲对待测样品晶体预处理点的在线损伤阈值测试。通过测试装置中的半波片、偏振片和小孔光阑实现亚纳秒激光脉冲和纳秒激光脉冲的共线,从而准确实现晶体的在线点对点损伤阈值测试。本发明提供了一种简单有效的测试方法和测试装置,有效解决了晶体预处理之后再进行损伤阈值测试难以准确找到预处理点的问题,能实现晶体预处理之后的在线损伤阈值测试,具有结构简单、易于操作并且找点精准的特点。
搜索关键词: 预处理 激光脉冲 阈值测试 点对点 损伤 损伤测试装置 激光预处理 测试装置 晶体激光 晶体的 测试 损伤测试 小孔光阑 有效解决 半波片 偏振片 共线
【主权项】:
1.一种晶体激光预处理与点对点损伤测试装置,其特征在于,包括并排设置的一台亚纳秒激光器、一台纳秒激光器;纳秒激光器一端设有半波片、第一平面反射镜;所述半波片用于将纳秒激光器射出的水平偏振光改为竖直偏振光;亚纳秒激光器一端顺次设有偏振片、聚焦透镜、楔形板、小孔光阑、待测样品晶体、小孔光阑,楔形板一边设有能量计、光斑分析仪,光斑分析仪与计算机相连,待测样品晶体两边分别设有He‑Ne激光器和CCD相机,CCD相机与计算机相连,所述偏振片对竖直偏振的激光脉冲完全反射,对水平偏振的激光脉冲完全透射;所述楔形板与待测样品晶体之间小孔光阑的数量为两个;待测样品晶体一边设有三个CCD相机,待测样品晶体另一边设有三个He‑Ne激光器;其中一个He‑Ne激光器通过两个第二平面反射镜使He‑Ne激光光路与亚纳秒、纳秒激光光路共线,第二平面反射镜与待测样品晶体之间设有一个小孔光阑,两个第二平面反射镜均置于二维调整镜架上。
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