[发明专利]一种自动上下料及自动翻片系统及其工作方法

摘要

本发明提供了一种自动上下料及自动翻片系统及其工作方法，该系统与PECVD设备的无缝对接，为双面异质结太阳能电池的PECVD设备上下料过程及两台PECVD系统之间的自动翻片过程提供了一个高洁净度、低湿度、低氧气含量的工作环境，解决了双面异质结太阳能电池制备过程中产能和电池转换效率不能同时兼顾的困难。

主权项

1.一种自动上下料及自动翻片系统，应用于两台含有独立的进片腔、出片腔以及反应腔的PECVD设备中，其特征在于：所述系统包括：氮气房，用于提供洁净度小于等于0.5微米颗粒物100级、氧气含量低于5%、相对湿度小于10%的氮气环境；两套自动上料装置，分别与所述两台PECVD设备的进片腔对接，用于完成对所述PECVD设备的硅片上料工作；两套自动下料装置，分别与所述两台PECVD设备的出片腔对接，用于完成对所述PECVD设备的硅片下料工作；自动翻片装置，设置于相邻的两台PECVD设备之间，用于完成所述硅片的翻转工作；所述自动上料装置、自动下料装置、自动翻片装置均位于所述氮气房内；所述PECVD设备用于制备双面的薄膜/晶硅异质结太阳能电池。