[发明专利]一种光电子封装柔性并联平台末端位姿检测系统及方法

摘要

本发明提供一种用于光电子封装领域的柔性并联平台末端位姿检测系统及方法，该系统包括动平台、定平台、动平台连接件和五套位姿检测装置，五套所述位姿检测装置用于实时检测及控制所述动平台的六个自由度的位姿值。该方法包括宏观位姿检测和微观位姿检测。本发明宏观位姿检测采用五个激光位移传感器对动平台的位姿进行检测，整套检测系统具有体积小、成本低等优点；动平台连接件放置在定平台的下方，两者不接触，不会对动平面的运动造成干扰；有两个激光位移传感器放置在柔性并联平台的外面，不会增加对动平台的压力。微观位姿检测是利用光功率计进行调整，通过光功率计的透光量来进行微调。

主权项

1.一种光电子封装柔性并联平台末端位姿检测系统，其特征在于，包括动平台、定平台、动平台连接件和五套位姿检测装置，五套所述位姿检测装置检测及控制所述动平台的六个自由度的位姿值；所述动平台、定平台和动平台连接件自上而下依次平行设置，所述动平台通过六个连接杆与所述定平台连接；所述位姿检测装置包括两个第二传感器和三个第一传感器，三个所述第一传感器固定在所述动平台连接件上，三个所述第一传感器均布在以所述动平台连接件的中心为圆心的圆上，在该圆上的所述第一传感器两两之间的夹角均为60度；两个所述第二传感器分别固定于所述动平台之外的X轴和Y轴上，且在所述动平台上设有与两个所述第二传感器相对应的用于接收信号的挡板；其中，所述第一传感器和第二传感器为激光位移传感器；其中，构建XYZ直角坐标系，X轴和Y轴均位于动平台上，所述动平台的下方设有与其平行设置的动平台连接件，Z轴沿着动平台连接件的中心指向定平台的中心，定平台为检测平台；其中，三个所述第一传感器用于检测动平台相对于定平台的位姿，并可计算得到分别绕X轴、Y轴和Z轴转过的角度和Z轴的直线位移，两个所述第二传感器用于检测X轴和Y轴的直线位移。