[发明专利]直驱旋转电机键合头装置有效
申请号: | 201611041159.3 | 申请日: | 2016-11-24 |
公开(公告)号: | CN106385134B | 公开(公告)日: | 2019-02-22 |
发明(设计)人: | 贺云波;吴晓明;王波;廖有用;胡永珊 | 申请(专利权)人: | 宁波知了智能科技有限公司 |
主分类号: | H02K7/10 | 分类号: | H02K7/10;H02K11/21;H01L21/67 |
代理公司: | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 | 代理人: | 潘李亮 |
地址: | 315200 浙江省宁波市镇海区*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及半导体封装领域,尤其涉及一种直驱旋转电机键合头装置,包括取晶机构以及用于带动取晶机构旋转的第一动力装置,所述第一动力装置为直驱旋转电机,且所述直驱旋转电机与取晶机构之间还设有用于防止取晶机构与晶片之间冲击力过大的缓冲机构。这种键合头装置精度较高、结构紧凑且能有效降低直驱旋转电机键合头装置接触芯片时的冲击力。 | ||
搜索关键词: | 旋转 电机 键合头 装置 | ||
【主权项】:
1.一种直驱旋转电机键合头装置,包括取晶机构以及用于带动取晶机构旋转的第一动力装置,其特征在于:所述第一动力装置为直驱旋转电机,且所述直驱旋转电机与取晶机构之间还设有用于防止取晶机构与晶片之间冲击力过大的缓冲机构;所述直驱旋转电机包括转子轴(1),所述转子轴(1)靠近取晶机构一端设有缓冲腔(2),所述缓冲机构包括依次设置在缓冲腔(2)内与转子轴(1)连接的调节件(3)、套设在调节件(3)上的弹簧(4)以及用于抵住弹簧(4)的弹簧座(5),所述弹簧座(5)与取晶机构连接;所述取晶机构包括固定在转子轴(1)上的安装座(9)、滑动连接在安装座(9)内的第一操作臂组件(10)、设置在安装座(9)外且与第一操作臂组件(10)连固定接的第二操作臂组件(11)以及一端伸出第二操作臂组件(11)的真空吸杆(12),所述弹簧座(5)与第一操作臂组件(10)固定连接。
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