[发明专利]一种带微流清洗的法布里-珀罗光纤光栅多功能传感器

摘要

本发明公开了一种带微流清洗的法布里‑珀罗光纤光栅多功能传感器，由宽带光源，光纤F‑P结构，光电探测器，检测腔，乳胶管，玻璃膜片，玻璃晶片，硅晶体，第一阀门，压电致动器，第二阀门，三通阀门，洗液池，清水池，FPG头组成。当向F‑P干涉仪腔内加入介质时，由宽带光源发出的光，通过F‑P传感器，变成一系列特定波长干涉峰，通过光探测器输出到示波器，通过与标准材料的关系可测出介质的折射率。由压电致动器驱动微泵产生微流用于FPB端面清洗。由于F‑P系统的特点及微流清洗的优点，该发明具有抗电磁干扰，耐腐蚀，且不受光源波动影响，可多次反复使用的优点，具有很好的实用价值和应用前景。

主权项

1.一种带微流清洗的法布里‑珀罗光纤光栅多功能传感器，由宽带光源(1)，光纤F‑P结构(2)，光电探测器(3)，检测腔(4)，乳胶管(5)，玻璃膜片(6)，玻璃晶片(7)，硅晶体(8)，第一阀门(9)，压电致动器(10)，第二阀门(11)，三通阀门(12)，洗液池(13)，清水池(14)组成；其特征在于：宽带光源(1)通过光纤连接到光纤F‑P结构(2)， 检测腔(4)固定在两FBG间隔处,后接光电探测器(3)输出波形,微流清洗装置以玻璃晶片(7)为基座，洗液池(13)和清水池(14)由密封片隔开， 清洗液在乳胶管(5)内传输，通过三通阀门(12)进入微泵，压电致动器(10)产生压差驱动流体，使流体先后通过阀1(9)，阀2(11)，形成的微流由出口流出到检测腔(4)进行清洗，使用过后的清洗液回流至洗液池(13)回收利用。