[发明专利]在MEMS传感器上形成过滤网的方法以及MEMS传感器有效
| 申请号： | 201611041741.X | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN106744664B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 詹竣凱;周宗燐;邱冠勳;蔡孟錦 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王昭智;马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在MEMS传感器上形成过滤网的方法以及MEMS传感器。该方法包括以下步骤：在基材上设置可解离胶带，在可解离胶带的粘接面上形成过滤网；将所述过滤网转印到薄膜上，以形成自粘卷材；将位于所述自粘卷材上的所述过滤网转移粘接到MEMS传感器的采集孔上。该方法形成的过滤网，网孔细密、均匀，并且良品率高。此外，该方法适用于大规模、工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤网 自粘卷材 胶带 解离 采集孔 良品率 基材 网孔 粘接 转印 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种在MEMS传感器上形成过滤网的方法，其特征在于，包括以下步骤：在基材(13 )上设置可解离胶带，在可解离胶带的粘接面上形成过滤网(11)，所述过滤网(11)的网孔采用黄光微影方法或者纳米压印方法形成；将所述过滤网(11)转印到薄膜(14)上，以形成自粘卷材(15)；将位于所述自粘卷材(15)上的所述过滤网(11)转移粘接到MEMS传感器的采集孔(16)上。
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