[发明专利]一种基于VAD工艺的多预制棒制备系统及其制备方法

摘要

本发明提供一种基于VAD工艺的多预制棒制备系统，包括沉积容腔、喷枪杆、芯部喷嘴、包层喷嘴和多个靶棒，芯部喷嘴和包层喷嘴均与喷枪杆的内部连通，各原料和燃料的管道均与喷枪杆的内部连通，靶棒通过升降平台驱动升降，多个靶棒以喷枪杆为中心的对称设置在喷枪杆的外侧，各靶棒的中心与喷枪杆的中心的距离均相同，各靶棒中心与喷枪杆中心的连线与坐标轴均成45°夹角，多个靶棒在各自独立的电机驱动下绕各自的轴线转动，多个靶棒均设置在升降平台上。本发明实现多棒的同时制作，预制棒的生产效率至少提高2倍；整个制备过程的各项工艺参数由PID控制器进行反馈环路控制，提高预制棒母体的外径和折射率的分布精度。

主权项

一种基于VAD工艺的多预制棒制备系统，包括沉积容腔、均设置在沉积容腔内的靶棒、中空的喷枪杆、芯部喷嘴和包层喷嘴，所述芯部喷嘴和包层喷嘴均与喷枪杆的内部连通，各原料和燃料的管道均与喷枪杆的内部连通，所述靶棒通过一升降平台驱动升降，所述靶棒在电机的驱动下绕自身轴线转动，所述沉积容腔内设有进气端和排气端，其特征在于：所述靶棒具有独立工作的多个，多个所述靶棒以喷枪杆为中心的对称设置在喷枪杆的外侧，各所述靶棒的中心与喷枪杆的中心的距离均相同，各所述靶棒中心与喷枪杆中心的连线与坐标轴均成45°夹角，多个所述靶棒在各自独立的电机驱动下绕各自的轴线转动，多个所述靶棒均设置在升降平台上；其还包括一PID控制器、和设置在沉积容腔内的摄像机和高温计，所述PID控制器控制连接摄像机、高温计；所述进气端和出气端均设有压力传感器、气泵和气阀，各原料和燃料的管道上均设有流量泵和物料阀，各压力传感器、气泵、气阀、流量泵、物料阀和电机均连接PID控制器形成反馈。