[发明专利]用溅射深度剖析技术确定薄膜中元素成分深度分布的方法有效
| 申请号： | 201611042584.4 | 申请日： | 2016-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN106770620B | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 王江涌;温睦前;梁家伟;庄素娜 | 申请（专利权）人： | 汕头大学 |
| 主分类号： | G01N27/68 | 分类号： | G01N27/68 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;张泽思 |
| 地址： | 515063 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用溅射深度剖析技术确定薄膜中元素成分深度分布的方法，主要包括：(a)测量确定待测多层薄膜的膜厚；(b)对待测多层薄膜进行溅射深度剖析，获得样品信号强度‑溅射时间关系的实验数据；(c)信号强度得出元素i的总信号强度；(d)通过深度公式求出溅射深度‑时间关系；(e)对深度公式求微分得到溅射速率‑时间关系；(f)通过浓度公式得到浓度‑时间关系；(g)将步骤(d)得到的溅射深度‑时间关系和步骤(f)得到的浓度‑时间关系结合，最终获得元素的成分浓度‑溅射深度关系。本发明通过质量守恒定律，消除丰度值对元素浓度的影响，并且推导出考虑每个同种元素的粒子产生的平均信号强度后元素新的浓度表达式。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 时间关系 多层薄膜 剖析 薄膜 质量守恒定律 粒子产生 浓度公式 平均信号 深度关系 实验数据 样品信号 丰度 膜厚 推导 测量 | ||
【主权项】：
1.一种用溅射深度剖析技术确定薄膜中元素成分深度分布的方法，其特征在于，主要包括以下步骤：(a)测量确定待测多层薄膜的膜厚；(b)对待测多层薄膜进行溅射深度剖析，获得样品信号强度‑溅射时间关系的实验数据；(c)再利用步骤(b)所得实验数据中信号强度得出元素i的总信号强度；(d)通过深度公式求出溅射深度‑时间关系；(e)通过对深度公式求微分求出溅射速率‑时间关系；(f)通过浓度公式求出浓度‑时间关系；(g)由步骤(d)得到的溅射深度‑时间关系和步骤(f)得到的浓度‑时间关系最终获得浓度‑溅射深度关系，即元素i的成分深度分布。
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