[发明专利]压电元件及其制造方法、超声波探头、超声波测量装置在审
| 申请号： | 201611042603.3 | 申请日： | 2016-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN106817105A | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 山崎清夏;田村博明 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/05 | 分类号： | H03H9/05;A61B8/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 田喜庆,纪秀凤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了压电元件及其制造方法、超声波探头、超声波测量装置。压电元件，层叠压电体和以面方位为[111]的单晶硅作为振动用材料的振动板(53)。并且，压电元件的制造方法，包括从面方位为[111]的单晶硅晶圆切出用于振动板(53)的振动用材料的工序，以及层叠压电体和所述振动板的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 及其 制造 方法 超声波 探头 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种压电元件，其特征在于，所述压电元件把压电体以及以面方位为[111]的单晶硅作为振动用材料的振动板进行层叠而得。
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