[发明专利]一种电子束装置、吸气器片和制造装配有所述吸气器片的电子束装置的方法有效
| 申请号： | 201611043600.1 | 申请日： | 2012-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN107068513B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 沃纳·哈格;多米尼克·克罗埃塔;乌尔斯·霍斯泰特勒;本诺·齐格利戈;托妮·瓦贝尔 | 申请（专利权）人： | 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司 |
| 主分类号： | H01J3/02 | 分类号： | H01J3/02;H01J7/18;H01J33/02;A61L2/08 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;包孟如 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及具有设置有出射窗的主体的电子束装置，所述主体形成或至少部分地形成真空室，所述真空室包括在其中的阴极外壳(112)和至少一个电子产生丝状体(120)。至少一种吸气器片(124)布置在阴极外壳(112)和所述丝状体(120)之间。本发明还包括用于在电子束装置中的吸气器片(124)，以及制造包括该至少一个吸气器片的电子束装置的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 装置 吸气 制造 装配 有所 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电子束装置(100)，其包括：设置有电子出射窗(104)的主体(102)，所述主体(102)至少部分地形成真空室；设置在所述真空室中并且具有内表面的阴极外壳(112)；设置在所述真空室中的至少一个电子产生丝状体(120)；设置在所述阴极外壳(112)和所述丝状体(120)之间的至少一个吸气器片(124)，所述至少一个吸气器片(124)具有面向所述阴极外壳(112)的内表面的对置面；以及所述至少一个吸气器片(124)的对置面和所述阴极外壳(112)的内表面之间的间隙；其中，所述至少一个吸气器片(124)包括由中央V形互连部(128)桥接的第一和第二翼部(126a、126b)。
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