[发明专利]基于PLC控制的晶片盒中晶圆位置状态检测装置及方法在审
| 申请号： | 201611043963.5 | 申请日： | 2016-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN108107812A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 邹春太;张军;郭生华;符平平 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 李巨智 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于PLC控制的晶片盒中晶圆位置状态检测装置，上位机连接PLC，向PLC发送控制命令并接收PLC的反馈信息；PLC通过伺服驱动器连接伺服电机的输入端，发送脉冲输出控制信号到伺服电机，对伺服电机进行控制，伺服电机的输出端通过脉冲编码器连接PLC，通过脉冲编码器向PLC发送反馈信息；伺服电机通过丝杠连接激光传感器，控制激光传感器运动，激光传感器连接PLC，检测晶圆位置信息。本发明的扫描过程中，片盒不动，激光传感器进行一次往返运动，就可计算出片盒中晶圆位置状态；检测方法简单，检测过程稳定可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 伺服电机 激光传感器 晶圆位置 状态检测装置 脉冲编码器 反馈信息 晶片盒 检测 晶圆位置信息 伺服驱动器 发送控制 发送脉冲 过程稳定 扫描过程 输出控制 丝杠连接 往返运动 上位机 输出端 输入端 出片 片盒 发送 | ||
【主权项】：
1.一种基于PLC控制的晶片盒中晶圆位置状态检测装置，其特征在于：上位机连接PLC，向PLC发送控制命令并接收PLC的反馈信息；PLC通过伺服驱动器连接伺服电机的输入端，发送脉冲输出控制信号到伺服电机，对伺服电机进行控制，伺服电机的输出端通过脉冲编码器连接PLC，通过脉冲编码器向PLC发送反馈信息；伺服电机通过丝杠连接激光传感器，控制激光传感器运动，激光传感器连接PLC，检测晶圆位置信息；在传动丝杠的顶部和底部设置正极限传感器和负极限传感器，对激光传感器起到限位作用；片盒检测传感器位于片盒的底部，采集开关量信号，用于对片盒进行检测；晶圆滑出检测传感器，采集晶圆与片盒的相对位置信息，用于检测晶圆是否滑出片盒；零位传感器，采集开关量信号，用于确定零点位置。
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