[发明专利]钼铌靶坯的制造方法在审
| 申请号： | 201611045349.2 | 申请日： | 2016-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN108103458A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;段高林 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C22C27/04;C22C1/04;B22F3/04;B22F3/15 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高静;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种钼铌靶坯的制造方法，包括：提供钼、铌混合粉末；将所述钼、铌混合粉末装入模具后，对所述钼、铌混合粉末进行热压烧结工艺，形成钼铌合金；将所述钼铌合金从所述模具中取出，获得钼铌靶坯。本发明将提供的钼、铌混合粉末装入模具后，对所述钼、铌混合粉末进行热压烧结工艺，形成钼铌合金；将所述钼铌合金从所述模具中取出后，获得钼铌靶坯。通过本发明所述方案，可以提供一种适用于工业化大型生产的钼铌靶坯制造方法，从而不仅可以形成大尺寸的钼铌靶坯，且使所形成钼铌靶坯的致密度达到99％及以上，获得微观结构均匀且满足溅射靶材性能要求的钼铌靶坯。 | ||
| 搜索关键词： | 铌靶 混合粉末 钼铌合金 模具 热压烧结 装入 取出 制造 溅射靶材 微观结构 性能要求 生产 | ||
【主权项】：
1.一种钼铌靶坯的制造方法，其特征在于，包括：提供钼、铌混合粉末；将所述钼、铌混合粉末装入模具后，对所述钼、铌混合粉末进行热压烧结工艺，形成钼铌合金；将所述钼铌合金从所述模具中取出，获得钼铌靶坯。
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