[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法、显示面板在审
| 申请号： | 201611046296.6 | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN106328717A | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 李云泽;杨妮;齐智坚;李少茹;顾可可 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/08;H01L21/336;G02F1/1362 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板，属于显示技术领域。薄膜晶体管包括：设置在衬底基板上的栅极；设置有栅极的衬底基板上设置有栅极绝缘层；设置有栅极绝缘层的衬底基板上设置有有源结构；设置有有源结构的衬底基板上设置有源漏极；其中，有源结构远离衬底基板的表面设置有凹孔，且部分源漏极嵌入凹孔内。本发明解决了TFT的能耗较大的问题，减小了薄膜晶体管的能耗，本发明用于薄膜晶体管。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制造 方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，其特征在于，所述薄膜晶体管包括：设置在衬底基板上的栅极；设置有所述栅极的所述衬底基板上设置有栅极绝缘层；设置有所述栅极绝缘层的所述衬底基板上设置有有源结构；设置有所述有源结构的所述衬底基板上设置有源漏极；其中，所述有源结构远离所述衬底基板的表面设置有凹孔，且部分所述源漏极嵌入所述凹孔内。
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