[发明专利]一种晶圆自动装载设备

摘要

本发明涉及一种晶圆自动装载设备，其特征在于，该设备包括主板装置、盒盖开盒装置、晶圆存储盒传输装置、盒盖传输装置、晶圆检测装置、控制系统和传感器组件；主板装置前侧上部活动连接盒盖开盒装置，盒盖开盒装置下方的主板装置前侧固定设置晶圆存储盒传输装置；主板装置前侧下部活动连接盒盖传输装置，主板装置后侧的盒盖传输装置固定连接晶圆检测装置，盒盖传输装置还固定连接盒盖开盒装置，主板装置前侧上部还设置有用于判定晶圆存储盒放置位置的传感器组件；控制系统分别电连接传感器组件、盒盖开盒装置、晶圆存储盒传输装置、盒盖传输装置和晶圆检测装置完成对晶圆存储盒内晶圆的自动装载，本发明可广泛应用于晶圆自动装载设备中。

主权项

一种晶圆自动装载设备，其特征在于，该设备包括主板装置、盒盖开盒装置、晶圆存储盒传输装置、盒盖传输装置、晶圆检测装置、控制系统和传感器组件；所述主板装置的前侧上部活动连接有可穿越所述主板装置进行前后运动的所述盒盖开盒装置，位于所述盒盖开盒装置下方的主板装置前侧固定设置有用于盛放晶圆存储盒的所述晶圆存储盒传输装置；所述主板装置的前侧下部活动连接有可穿越所述主板装置进行前后运动且能够在所述主板装置上进行上下运动的所述盒盖传输装置，位于所述主板装置后侧的盒盖传输装置固定连接所述晶圆检测装置，所述盒盖传输装置还固定连接所述盒盖开盒装置用于带动所述盒盖开盒装置运动，所述主板装置的前侧上部还设置有用于判定晶圆存储盒放置位置是否正确的所述传感器组件；所述控制系统分别电连接所述传感器组件、盒盖开盒装置、晶圆存储盒传输装置、盒盖传输装置和晶圆检测装置，完成对所述晶圆存储盒内晶圆的自动装载。