[发明专利]双栅极生物敏感场效应晶体管及阈值校准方法有效
| 申请号： | 201611047224.3 | 申请日： | 2016-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN107064271B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 黄毓杰;黄睿政;谢正祥 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供了一种生物敏感场效应晶体管包括衬底、第一控制栅极和第二控制栅极。衬底具有第一侧和与第一侧相对的第二侧、源极区和漏极区。在衬底的第一侧上设置第一控制栅极。在衬底的第二侧上设置第二控制栅极。第二控制栅极包括在衬底的第二侧上设置的感测膜。源极区和第二控制栅极之间偏置的电压小于第二控制栅极的阈值电压。本发明的实施例还提供了一种用于传感阵列的阈值失配校准的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 栅极 生物 敏感 场效应 晶体管 阈值 校准 方法 | ||
【主权项】：
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