[发明专利]一种CaF2光学基底表面和亚表面损伤探测方法

摘要

本发明公开了一种CaF₂光学基底表面和亚表面损伤探测方法。本发明的方法包括步骤：S1，对被测试CaF₂光学基底样品表面进行处理；S2，采用激光共聚焦Raman光谱仪进行显微Raman光谱测试，对该测试区域表面和亚表面的损伤变化情况进行判断分析；S3，对所测CaF₂光学元件表面的所有有效区域进行表面Mapping扫描测试，并对测试结果进行综合分析，判断所测CaF₂光学元件表面和亚表面的损伤情况。本发明提供的CaF₂光学基底表面和亚表面损伤探测方法能提高探测的灵敏度和准确性。

主权项

1.一种CaF₂光学基底表面和亚表面损伤探测方法，其特征在于，包括步骤：S1，对被测试CaF₂光学基底样品表面进行处理；S2，采用激光共聚焦拉曼光谱仪进行显微拉曼光谱测试，对该测试区域表面和亚表面的损伤变化情况进行判断分析，具体为：采用激光共聚焦拉曼光谱仪，选择拉曼测试模式及测试参数，进行显微拉曼光谱测试，根据所述拉曼光谱中CaF₂的特征拉曼峰的强弱变化及其它杂质组分结构的拉曼光谱峰的强弱变化，对该测试区域表面和亚表面的损伤变化情况进行判断，并具体分析损伤机理；所述拉曼光谱的激发激光波长为785nm；所述拉曼光谱的测试范围为100cm^‑1‑1500cm^‑1之间；S3，对所测CaF₂光学元件表面的所有有效区域进行表面Mapping扫描测试，并对测试结果进行综合分析，判断所测CaF₂光学元件表面和亚表面的损伤情况；所述CaF₂光学基底样品的表面处理包括银纳米溶胶涂覆步骤。