[发明专利]一种自产热装置及自产热装置的制作方法有效
| 申请号： | 201611048522.4 | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN106524543B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 汤亮;张忠山;郑成诗;季磊;支萌辉;齐敏;孙泉;张倩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | F24V99/00 | 分类号： | F24V99/00 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种自产热装置及自产热装置的制作方法。该自产热装置包括能量拾取器(2000)和发热装置(3000)；能量拾取器(2000)，用来拾取使用对象在运动过程中的动能；发热装置(3000)，与能量拾取器(2000)通过金属引线连接，用于根据动能产生热量。本发明通过拾取使用对象自身的动能供给发热装置产生热量，具有自发热的特点；采用MEMS方法制备，具有小尺寸、能够批量生产的优点，有利于批量应用。 | ||
| 搜索关键词： | 产热装置 能量拾取器 发热装置 使用对象 动能 拾取 动能产生 金属引线 运动过程 自发热 制备 制作 应用 生产 | ||
【主权项】：
1.一种自产热装置，其特征在于，所述装置包括：能量拾取器(2000)和发热装置(3000)；所述能量拾取器(2000)，用来拾取使用对象在运动过程中的动能，包括悬臂梁支撑的质量块(4000)和压电器件(5000)：所述压电器件(5000)，位于玻璃衬底(2007)之上，利用压电效应将动能转化成电能；所述悬臂梁支撑的质量块(4000)，用于感知使用对象的运动并产生位移碰撞所述压电器件(5000)，玻璃衬底(2007)经共晶键合技术固接在质量块(4000)两侧；所述悬臂梁支撑的质量块(4000)的材料为硅，包括：支撑结构(2001)、悬臂梁(2002)和质量块(2003)；所述质量块(2003)与所述支撑结构(2001)通过所述悬臂梁(2002)连接；所述质量块(2003)用于拾取使用对象的动能；所述质量块(2003)依靠支撑结构(2001)和所述悬臂梁(2002)产生振动，触碰所述压电器件(5000)产生压电效应；所述的发热装置(3000)位于玻璃衬底(2007)之上，包括金电极(3002)和铟锡氧化物薄膜(3001)；所述金电极(3002)设置在所述铟锡氧化物薄膜(3001)和所述玻璃衬底(2007)之间；所述铟锡氧化物薄膜(3001)通过剥离工艺制备，厚度为0.1um；所述发热装置(3000)，与所述能量拾取器(2000)通过金属引线连接，用于根据所述动能产生热量。
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