[发明专利]标定方法及标定系统有效
| 申请号： | 201611052084.9 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN106502057B | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 马强 | 申请（专利权）人： | 天津津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 马维丽 |
| 地址： | 300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路1*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种标定方法和标定系统，属于光刻技术领域。本发明公开一种标定方法，选定静态图形需要标定的图形点A和点B，根据图形点A和点B的坐标计算得到偏转角αimage；移动XY轴载物平台，使图形点A的中心移动到第一相机的中心点重合，记录平台坐标(stageX1，stageY1)；移动XY轴载物平台，使图形点B的中心移动到第一相机的中心点重合，记录平台坐标(stageX2，stageY2)；根据坐标(stageX1，stageY1)及坐标(stageX2，stageY2)计算平台偏转角αstage；由αimage、αstage计算旋转角度角α。该方法能够实现平台在线测试旋转角，解决了现有技术中光刻机平台整机组装成功后无法测量偏摆的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 标定 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种标定方法，用于测试空间光调制器相对于XY轴载物平台的旋转角度，其特征在于，所述方法包括：选定静态图形需要标定的图形点A和图形点B，其中，图形点A的中心像素坐标为(Xa，Ya)，图形点B的中心像素坐标为(Xb，Yb)，根据图形点A和图形点B的坐标计算得到图形偏转角αimage；移动XY轴载物平台，使图形点A的中心移动到第一相机的中心点重合，记录平台坐标(stageX1，stageY1)；移动XY轴载物平台，使图形点B的中心移动到第一相机的中心点重合，记录平台坐标(stageX2，stageY2)；根据坐标(stageX1，stageY1)及坐标(stageX2，stageY2)计算平台偏转角αstage；根据αimage、αstage计算旋转角度角α。
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