[发明专利]一种高温电涡流传感器及制作方法在审
| 申请号： | 201611052347.6 | 申请日： | 2016-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN106352782A | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 韩超;李小明 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司金城南京机电液压工程研究中心 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心11008 | 代理人： | 杜永保 |
| 地址： | 211102 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于传感器领域，涉及一种高温电涡流传感器及制作方法。本发明采用深紫外光刻技术、预埋电极技术、磁控溅射技术、二次光刻技术和微细电铸技术，实现了耐高温多匝扁平银线圈与陶瓷基体的紧密结合。本传感器易于批量加工，无焊点，可靠性高，可在高温环境下正常工作。克服了传统漆包线绕制电涡流传感器高温下无法工作的问题，克服了某些高温电涡流传感器应用范围小，可靠性差的缺点。本发明解决了高温环境下电涡流传感器的工作问题，对高温检测发挥了重要作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 涡流 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
一种高温电涡流传感器，其特征在于：包括引出线(1)、陶瓷基体(2)、溅射层(3)、银线圈(4)，所述引出线(1)预先埋于陶瓷基体(2)内部与溅射层(3)连通，溅射层(3)与陶瓷基体(2)紧密连接，并为银线圈(4)的微细电铸提供导电层，银线圈(4)为单层的扁平多匝银线圈用于产生并感应磁场变化进行位移测量。
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