[发明专利]一种验证测量系统是否处于稳定状态的方法在审
| 申请号： | 201611052643.6 | 申请日： | 2016-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN106546937A | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 谭雪;石志刚;刘伟 | 申请（专利权）人： | 北京确安科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100094 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种验证测量系统是否处于稳定状态的方法。使用MINITAB 16的量具R&R研究(交叉)工具，进一步选择方差分析法进行测量系统分析，确定测量产生的变异性是由量具本身还是操作员之间的变异性引起的。本发明突破以往只通过校准来验证自动测试设备是否稳定的现状，充分考虑人、机、料、法、环、测等因素的影响，定义评价对象是包括量具、测量人员、被测量器件，程序和方法的测量系统。并首次应用在集成电路测试领域中，分析晶圆级的测试数据，确定测量产生的变异性是否由测量系统本身引起的，从而为验证测量系统的稳定性，保证产品质量和可靠性提供了一种有效的数字手段。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 验证 测量 系统 是否 处于 稳定 状态 方法 | ||
【主权项】：
一种验证测量系统是否处于稳定状态的方法，其特征在于，包括如下步骤：使用J750测试机，通过4site并测，得到2次测量值；将所述2次测量值转成MINITAB所需的数据格式，使用MINITAB16中的量具R&R研究工具，得到各个site的分析结果，所述分析结果包括数理统计结果和图表结果；将所述数理统计结果与所述图表结果与量具重复性和再现性的可接受准则进行比对，从而确定变异是由测量不同的部件引起的还是所述测量系统本身引起的。
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