[发明专利]基于全息共轭光补偿空气扰动的激光准直、位移测量系统

摘要

本发明涉及一种激光准直系统，包括：激光输出单元，用于输出激光；第一分光镜，用于对激光输出单元输出的激光进行反射及透射，形成第一反射光及第一透射光；第二分光镜，用于对所述第一透射光进一步分光，再次形成第二反射光及第二透射光，所述第二透射光为信息光，用于入射到待测目标并采集位相信息；共轭光发生组件，设置于从第一反射光的传播光路上，用于输出信息光的共轭光作为测量光；光电探测器，设置于被所述第二分光镜反射的测量光的光路上，用于探测被第二反射镜反射的测量光并转换为电信号。本发明进一步提供一种位移测量系统。本发明提供的激光准直系统及位移测量系统能够有效减少空气扰动的影响。

主权项

1.一种激光准直系统，其特征在于，所述激光准直系统包括：激光输出单元，用于输出激光；第一分光镜，设置于从所述激光输出单元输出激光的光路上，用于对激光输出单元输出的激光进行反射及透射，形成第一反射光及第一透射光；第二分光镜，设置于所述第一透射光的传播光路上，用于对所述第一透射光进一步分光，再次形成第二反射光及第二透射光，所述第二透射光为信息光，用于入射到待测目标并采集位相信息；共轭光发生组件，设置于从第一反射光的传播光路上，用于接收被待测目标反射的所述信息光，并输出所述信息光的全息共轭光，作为测量光，用于对待测目标进行测量，所述测量光沿信息光的入射光路返回待测目标，经过待测目标反射后返回到所述第二分光镜；光电探测器，设置于被所述第二分光镜反射的测量光的光路上，用于探测被第二反射镜反射的测量光并转换为电信号；其中，所述共轭光发生组件包括：第三分光镜，设置于第一反射光的光路上，用于将所述第一反射光再次进行反射和透射，形成第三反射光及第三透射光，所述第三透射光作为参考光；电荷耦合元件，用于接收所述参考光及所述信息光并获取全息干涉图像，并将全息干涉图像转换为电信号，并且入射到所述电荷耦合元件的参考光与第三反射光的传播方向相反；液晶阵列，设置于第三反射光的光路上，与所述电荷耦合元件电连接，用于接收到所述电信号并形成全息图案，所述第三反射光经过液晶阵列衍射后出射形成所述测量光，且所述测量光入射到待测目标，经过待测目标反射后，沿所述信息光入射到待测目标的光路逆向返回，再次入射到所述第二分光镜；第一反射镜组，设置于参考光的光路上，用于将参考光反射进所述电荷耦合器件，以使进入电荷耦合器件时的参考光的传播方向与入射到液晶阵列的第三反射光的传播方向相反；第二反射镜组，设置于经过待测目标反射后的信息光的光路上，用于将信息光反射进所述电荷耦合元件，以使所述信息光与所述参考光干涉形成全息干涉图像。