[发明专利]堆叠式涂胶显影系统

摘要

本发明涉及半导体加工领域，具体地说是一种堆叠式涂胶显影系统，晶圆通过片盒卸装料机器人在片盒、增粘工艺塔和第一热处理工艺塔间传送，并通过第一上下层传输机器人在增粘工艺塔中的增粘单元和中转单元间传送，在不同工艺站组中，晶圆均通过上下叠置的显影工艺机器人与涂胶工艺机器人在热处理工艺塔和涂胶显影工艺塔间传送，不同工艺站组的热处理工艺塔通过传片单元传递晶圆，晶圆通过第二上下层运输机器人在第二显影工艺机器人、第二涂胶工艺机器人、晶圆中转站塔和边缘曝光单元间传送，晶圆通过接口站传送机器人在晶圆中转站塔和光刻机间传送。本发明具有机器人服务工艺单元数少、晶片传递方向唯一、设备占地面积小等特点。

主权项

1.一种堆叠式涂胶显影系统，其特征在于：包括片盒站(1)、增粘工艺站(2)、第一工艺站组、第二工艺站组、接口站(5)、光刻机(6)和多个传输机器人，其中片盒站(1)设有片盒(9)和片盒卸装料机器人(10)，增粘工艺站(2)设有第一上下层传输机器人(11)和增粘工艺塔(12)，且所述增粘工艺塔(12)上设有增粘单元(25)和中转单元(26)，第一工艺站组设有第一涂胶工艺机器人(23)、第一显影工艺机器人(22)、第一热处理工艺塔(21)和第一涂胶显影工艺塔(13)，且所述第一显影工艺机器人(22)与第一涂胶工艺机器人(23)叠置，晶圆通过所述片盒卸装料机器人(10)在所述片盒(9)、增粘工艺塔(12)和第一热处理工艺塔(21)间传送，晶圆通过所述第一上下层传输机器人(11)在所述增粘工艺塔(12)中的增粘单元(25)和中转单元(26)间传送，晶圆通过所述第一显影工艺机器人(22)与第一涂胶工艺机器人(23)在所述第一热处理工艺塔(21)和第一涂胶显影工艺塔(13)间传送，所述第二工艺站组设有第二涂胶工艺机器人(24)、第二显影工艺机器人(19)、第二热处理工艺塔(20)和第二涂胶显影工艺塔(14)，且第二显影工艺机器人(19)和第二涂胶工艺机器人(24)叠置，在所述第一热处理工艺塔(21)和第二热处理工艺塔(20)上设有传递晶圆的传片单元(30)，晶圆通过所述第二涂胶工艺机器人(24)和第二显影工艺机器人(19)在所述第二热处理工艺塔(20)和第二涂胶显影工艺塔(14)间传送，接口站(5)设有第二上下层运输机器人(18)、边缘曝光单元(17)、接口站传送机器人(16)和晶圆中转站塔(15)，晶圆通过所述第二上下层运输机器人(18)在第二显影工艺机器人(19)、第二涂胶工艺机器人(24)以及晶圆中转站塔(15)间传送，并且晶圆还通过所述第二上下层运输机器人(18)在所述晶圆中转站塔(15)和边缘曝光单元(17)间传送，晶圆通过所述接口站传送机器人(16)在所述晶圆中转站塔(15)和光刻机(6)间传送。