[发明专利]一种用于光波导降低应力的加热电极及其VOA

摘要

本发明公开了一种用于光波导降低应力的加热电极及其VOA，所述加热电极设置于PLC波导的上包层上，该加热电极采用两个或者两个以上相互间隔的子加热电极组合而成，相邻的子加热电极之间采用导电功能的电极相连；本发明将完整的长条形加热电极分成若干段子加热电极，在不影响加热效率的情况下，降低了对波导芯层施加的应力影响，从而有效的提高了器件光学指标的可靠性。

主权项

一种用于光波导降低应力的加热电极，其特征在于:所述加热电极设置于PLC波导的上包层上，该加热电极采用两个或者两个以上相互间隔的子加热电极组合而成，相邻的子加热电极之间采用导电功能的电极相连；所述加热电极满足如下条件：a1×A1＝a2×L/2、a1×Am＝a2×L/2、L＝A1+A2……+Am、B≥2A×a1×ΔT；其中：L为加热电极总长度、A为所有子加热电极长度之和、m为子加热电极的数量，B为每一段导电电极长度、a1为加热电极材料的线性热膨胀系数、a2为波导材料的线性热膨胀系数、A1,A2,…,Am为第1个,第2个,…,第m个子加热电极的长度、△T为加热电极温度的改变量。