[发明专利]一种可移动式掩模载置台有效
| 申请号： | 201611056005.1 | 申请日： | 2016-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN106444302A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 郑传志;贾富强;张鹏飞;刘甲甲 | 申请（专利权）人： | 南京华东电子信息科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 丁静静 |
| 地址： | 210033 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了可移动式掩模载置台，包括掩模架、掩膜夹具、掩模销、基板载置台、感应掩模板尺寸大小的感应器和报警器，所述的掩模架通过扭力螺丝可移动地固定在掩模板载置台上，感应器设置在掩模架上。通过该设计减少了大尺寸掩模的曝光时间，有效提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 移动式 掩模载置台 | ||
【主权项】：
一种可移动式掩模载置台，其特征在于，包括掩模架、感应掩模板尺寸大小的感应器和报警器，所述的掩模架通过扭力螺丝可移动地固定在掩模板载置台上，感应器设置在掩模架上。
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