[发明专利]一种产生辉光放电条纹的装置及方法

摘要

本发明涉及一种产生辉光放电条纹的装置及方法，属于辉光放电技术领域。本发明主要解决现有技术存在的结构复杂、稳定性差、电子密度和电子温度呈无规律分布、在应用过程中无选择性的技术问题。本发明的技术方案是一种产生辉光放电条纹的装置，包括直流电源、阳极、阴极和工作台，其中还包括辉光放电腔，所述辉光放电腔的一侧壁设置有氩气进气口，所述辉光放电腔的另一侧壁设置有抽真空口和真空度测试仪；所述阳极和阴极的一端穿过辉光放电腔的两侧壁设置在辉光放电腔中，且阳极和阴极一端的端头分别设置有相互平行的板状电极；所述阳极的另一端与直流电源的正极相连，所述阴极的另一端与直流电源的负极和绝缘棒连接，绝缘棒与千分尺连接。

主权项

一种产生辉光放电条纹的装置，包括直流电源(1)、阳极(3)、阴极(4)和工作台，其特征在于：还包括辉光放电腔(2)，所述辉光放电腔(2)的一侧壁设置有氩气进气口(8)，所述辉光放电腔(2)的另一侧壁设置有抽真空口(9)和真空度测试仪(7)，所述辉光放电腔(2)通过抽真空口(9)与真空抽气装置(12)连接，所述辉光放电腔(2)通过氩气进气口(8)与氩气存储装置(6)连接；所述阳极(3)和阴极(4)的一端穿过辉光放电腔(2)的两侧壁设置在辉光放电腔(2)中，且阳极(3)和阴极(4)一端的端头分别设置有相互平行的板状电极(5)；所述阳极(3)的另一端与直流电源(1)的正极相连，所述阴极(4)的另一端与直流电源(1)的负极和绝缘棒(10)连接，绝缘棒(10)与千分尺(11)连接，所述千分尺(11)装在工作台上。