[发明专利]一种异质结型光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种异质结型光电探测器及其制备方法，是由p型钐掺杂氮化镓纳米线与n型石墨烯构筑成的异质结光电探测器。本发明光电探测器对可见光非常敏感，响应度及增益较高并且响应速度较快，为纳米材料在光电器件中的应用和集成提供了良好的基础。

主权项

一种基于钐掺杂氮化镓纳米线的异质结型光电探测器，其特征是具有如下结构：在硅基底(1)的表面覆有二氧化硅层(2)，在二氧化硅层(2)的表面分散有平铺的钐掺杂氮化镓纳米线(4)，在所述钐掺杂氮化镓纳米线(4)的两端分别设置有欧姆电极(3)作为输出一极，所述欧姆电极(3)与所述钐掺杂氮化镓纳米线(4)呈欧姆接触；在所述钐掺杂氮化镓纳米线(4)上交叠覆有石墨烯(5)，所述石墨烯(5)位于两个欧姆电极(3)之间且与欧姆电极(3)隔离；在所述石墨烯(5)上设置有欧姆电极(6)作为另一输出极，所述欧姆电极(6)与所述石墨烯(5)呈欧姆接触且与钐掺杂氮化镓纳米线(4)和欧姆电极(3)隔离；所述钐掺杂氮化镓纳米线(4)为P型钐掺杂氮化镓纳米线；所述石墨烯(5)为N型石墨烯；所述欧姆电极(3)和欧姆电极(6)为金电极。