[发明专利]晶片清洗机及一种晶片清洗的方法有效
| 申请号： | 201611056947.X | 申请日： | 2016-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN106583302B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 毛毅 | 申请（专利权）人： | 珠海东精大电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 珠海中知耕作知识产权代理事务所(普通合伙) 44841 | 代理人： | 林敏仪 |
| 地址： | 519060 广东省珠*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶片清洗机及一种晶片清洗的方法，旨在提供一种环境污染小、清洗效果好的晶片清洗机及防止操作者的损害、消除对环境污染，提供一种无危害的晶片清洗的备方法。本发明包括有清洗仓，所述清洗仓内依次设置有超声波NDK花王清洗装置、喷淋洗净装置和超声波纯净水清洗装置，所述超声波NDK花王清洗装置、所述喷淋洗净装置和所述超声波纯净水清洗装置均设置有若干个网杯，所述网杯内均设置有晶片。一种晶片清洗的方法包括：a.使用NDK花王清洗溶剂对晶片进行浸泡清洗；b.使用所述第一纯水对晶片进行淋浴；c.使用第二纯水对晶片进行浸泡清洗。本发明应用于晶片清洗的技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 清洗 一种 方法 | ||
【主权项】：
一种晶片清洗机，其特征在于：它包括清洗机本体（1），所述本体（1）内设置有清洗仓（2），所述本体（1）上设置有控制面板（3），所述本体（1）上设置有与所述清洗仓（2）相适配的封仓门（4），所述清洗仓（2）内依次设置有均与所述控制面板（3）电性连接的超声波NDK花王清洗装置（5）、喷淋洗净装置（6）和超声波纯净水清洗装置（7），所述超声波NDK花王清洗装置（5）、所述喷淋洗净装置（6）和所述超声波纯净水清洗装置（7）均设置有若干个网杯（8），所述网杯（8）内均设置有晶片。
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