[发明专利]非远心光路实时光强传输方程非干涉测量系统在审
| 申请号： | 201611058589.6 | 申请日： | 2016-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN106482933A | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 董焰章;于瀛洁;苗强 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙)31205 | 代理人： | 何文欣 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及非远心光路实时光强传输方程非干涉测量系统。本系统包括激光器；反射镜；透镜1；半反半透镜；透镜2；曲面衍射光栅；透镜3和CCD。在光路系统中，采用低相干光源，设计非远心的光路形式，解决了基于4f系统形式为主的远心光路形式系统比较庞大、需要高成本的低像差大尺寸光学透镜问题。并在成像系统中加入了曲面衍射光栅，利用曲面衍射光栅实现不同在焦图像同时记录，从而达到实时测量的目的，实现车间或一般情况下在位检测应用所需的动态性。 | ||
| 搜索关键词： | 非远心光路 实时 传输 方程 干涉 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种非远心光路实时光强传输方程非干涉测量系统，系统包括激光发射器（1）；反射镜（2）；透镜1（3）；半反半透镜（4）；透镜2（5）；曲面衍射光栅（6）；透镜3（7）和CCD传感器（8）；其特征在于：所述激光发射器（1）发出的光束经反射镜（2），透镜（3），半反半透镜（4），和透镜2（5）后照射在被测物体表面（9），反射后经透镜2（5）和曲面衍射光栅和透镜（6，7）照射到CCD传感器（8）上；激光发射器发出的低相干光经过被测物体表面（9），反射后经过曲面衍射光栅在CCD（8）上成像，利用曲面衍射光栅实现不同在焦图像同时记录，从而达到实时测量的目的。
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