[发明专利]一种光纤法珀微型力传感器

摘要

本发明涉及一种光纤法珀微型力传感器，包括不锈钢外壳，在不锈钢外壳两侧内壁上部设有两块对称的定位块，在不锈钢外壳左端偏上的部位设有一圆孔；在不锈钢外壳内设有硅基底，该硅基底内设有第一光纤准直器安装槽；其还包括：一光纤构件，由光纤准直器和连接在其左端的尾纤构成，光纤准直器伸入硅基底的第一光纤准直器安装槽内；一台阶固支梁的下面中部设有凸台，台阶固支梁下面两端分别与所述两块定位块一一对应接触；一压力膜的中部设有双面凸起触点，压力膜设在不锈钢外壳的上口并覆盖在台阶固支梁的上面，双面凸起触点与凸台的上面对应接触。本发明结构微型，能在高温高压条件下长期工作，且具有抗电磁干扰能力强，测量精度高等优点。

主权项

1.一种光纤法珀微型力传感器，包括不锈钢外壳（3），在所述不锈钢外壳两侧内壁上部设有两块对称的定位块（31），在所述不锈钢外壳左端偏上的部位设有一圆孔（32）；在所述不锈钢外壳（3）内设有硅基底（4），该硅基底（4）内设有第一光纤准直器安装槽（43），所述第一光纤准直器安装槽的左端与所述圆孔（32）对应、右端设有第一阶梯定位面（42）和45°反射面（41）；其特征是，还包括：一光纤构件（1）由光纤准直器（11）和连接在其左端的尾纤（12）构成，所述光纤准直器（11）的右端设有阶梯端面（13）和内芯端面（14）；所述光纤构件（1）从所述不锈钢外壳上的圆孔（32）插入，并伸入所述硅基底（4）的第一光纤准直器安装槽（43）内；所述第一阶梯定位面（42）与所述阶梯端面（13）对应接触，所述45°反射面（41）与所述内芯端面（14）对应接触；一台阶固支梁（5）的下面中部设有凸台（51），所述台阶固支梁（5）下面两端分别与所述两块定位块（31）一一对应接触；一压力膜（2）的中部设有双面凸起触点（21），所述压力膜设在所述不锈钢外壳（3）的上口并覆盖在所述台阶固支梁（5）的上面，所述双面凸起触点（21）与所述凸台（51）的上面对应接触；所述光纤构件（1）采用耐高温石英光纤制作，所述硅基底（4）采用耐高温的Si材料加工法珀光路，所述压力膜（2）采用熔点为1371℃的镍铬合金制作。