[发明专利]一种蒸镀用材料、制备方法和蒸镀方法有效

专利信息
申请号: 201611061522.8 申请日: 2016-11-28
公开(公告)号: CN106756803B 公开(公告)日: 2019-08-30
发明(设计)人: 闵超;罗志忠;李维维;敖伟 申请(专利权)人: 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;H01L51/56
代理公司: 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 代理人: 许志勇
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明实施例提供了一种蒸镀用材料、制备方法和蒸镀方法,所述蒸镀用材料包括:待蒸镀材料,及包裹在所述待蒸镀材料表面的保护材料,其中:所述保护材料的功函数大于所述待蒸镀材料的功函数,当达到相同蒸镀速率时,所述保护材料所需要的蒸镀温度低于所述待蒸镀材料所需要的蒸镀温度。由于这种蒸镀用材料在功函数较低的待蒸镀材料表面包裹了功函数较高的保护材料,使得待蒸镀材料在添加到蒸镀腔室进行蒸镀的过程中不会因为与空气接触而部分被氧化腐蚀,进而有效提高使用这种待蒸镀材料蒸镀得到的OLED电子注入层的电子注入性能。
搜索关键词: 蒸镀 蒸镀材料 蒸镀用材料 保护材料 功函数 蒸镀材料表面 制备 电子注入性能 电子注入层 空气接触 氧化腐蚀 蒸镀腔室
【主权项】:
1.一种蒸镀用材料,其特征在于,所述蒸镀用材料包括:待蒸镀材料,及包裹在所述待蒸镀材料表面的保护材料;其中:所述保护材料的功函数大于所述待蒸镀材料的功函数;当达到相同蒸镀速率时,所述保护材料所需要的蒸镀温度低于所述待蒸镀材料所需要的蒸镀温度;所述保护材料为升华性的材料。
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